Für die Aufnahme von Wafern bis zu einem Durchmesser von 12" sind drehbare Waferhalter mit und ohne Vakuumfixierung erhältlich.

Spezielle Kundenwünsche sind auf Anfrage realisierbar.

 

Waferhalter, drehbar

 
Artikelnr. Bezeichnung
00-29-340-8000

Waferhalter
drehbar, für 6", 8" und 12" Wafer

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00-29-440-8000

Waferhalter
drehbar, für 4" Wafer

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00-29-640-8000

Waferhalter
drehbar, für 5" und 6" Wafer

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00-29-840-8000

Waferhalter
drehbar, für 5", 6" und 8" Wafer

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Vakuumwaferhalter, drehbar

 
Artikelnr. Bezeichnung
00-29-350-8000

Vakuumwaferhalter
drehbar, für 8" und 12" Wafer

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00-29-650-8000

Vakuumwaferhalter
drehbar, für 5" und 6" Wafer

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00-29-850-8000