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Waferhalter Für die Aufnahme von
Wafern bis zu einem Durchmesser von 12“ sind
drehbare Waferhalter mit und ohne
Vakuum- |
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Produktbezeichnung
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Wafer |
Beschreibung |
| Waferhalter drehbar | 5" 6" Wafer | für EK / SCAN 150 x 150 |
| Vakuumwaferhalter drehbar | 5" 6" Wafer | für EK / SCAN 150 x 150 |
| Waferhalter drehbar | 6" 8" Wafer | für EK / SCAN 200 x 200 |
| Vakuumwaferhalter drehbar | 6" 8" Wafer | für EK / SCAN 200 x 200 |
| Waferhalter drehbar | 8" 12" Wafer | für EK / SCAN 300 x 300 |
| Vakuumwaferhalter drehbar | 8" 12" Wafer | für EK / SCAN 300 x 300 |
