Ein neuentwickelter, hochdynamischer und -präziser Scanningtisch mit Luftlagerung und Direktantrieb erfüllt auch in Zukunft die Anforderungen der Halbleiter-industrie. Durch die Kombination von selbstjustierender Luftlagerung und Linearmotortechnik ist die kompakte Konstruktion verschleiß- und wartungsfrei und bietet somit eine sehr hohe Reinraumtauglichkeit. Mit einer Verfahrgeschwindigkeit von < 50 µm/sec bis > 2 m/sec und einer Beschleunigung von bis zu 50 m/sec2 werden auch hier die Maßstäbe neu definiert.