AirLin Luftlagertisch

Der dynamische und präzise Scanningtisch AirLin mit Luftlagerung und Direktantrieb wurde speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie konzipiert. Durch die Kombination von selbstjustierender Luftlagerung und Linearmotortechnik ist die kompakte Konstruktion verschleiß- und wartungsfrei und bietet somit eine sehr hohe Reinraumtauglichkeit.

Mit einer Verfahrgeschwindigkeit von < 1 µm/s bis > 2 m/s und einer Beschleunigung von bis zu 3 m/sec² findet dieser Tisch in vielen Bereichen der Halbleiterindustrie Verwendung.