EK 200 x 200 (00-23-801-0000)

 

EK 200 x 200
Verfahrbereich: 200 x 200 mm

 
  • Olympus MX50
  • Olympus MX50L
  • Olympus MX61
 

Abmaße: 246 x 246 x 4 mm

 

Abmaße: 246 x 246 x 6 mm

 

Vakuumwaferhalter
drehbar, für 6" und 8" Wafer

 

Waferhalter
drehbar, für 6", 8" und 12" Wafer